金刚石量子探针扫描仪
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金刚石量子探针扫描仪使用微米级尺寸的光纤金刚石微波探针,结合近场扫描技术,逐行扫描待测件表面,获得其表面微波场分布。它具有高空间分辨率、高灵敏度、宽测量频域等优点,可用于微波器件表征、岩石磁学研究、精密无损探伤和高分辨温度成像等。
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金刚石量子探针扫描仪使用微米级尺寸的光纤金刚石微波探针,结合近场扫描技术,逐行扫描待测件表面,获得其表面微波场分布。它具有高空间分辨率、高灵敏度、宽测量频域等优点,可用于微波器件表征、岩石磁学研究、精密无损探伤和高分辨温度成像等。
产品特点
高空间分辨率
配置多种规格金刚石探针,最高分辨率1μm,适合芯片级微波探测。
高灵敏度
能够分辨nT级磁场变化和mK级温度变化。
宽测量频域
通过调节偏置磁场可将探头的工作频率拓宽至6+GHz。
多物理场测量
除微波场外,兼测静磁场与温度场。
指标参数
| 参数名称 | 指标 |
| 扫描范围 | 30*30mm² (可定制) |
| 空间分辨率 | 1μm~2mm |
| 频率响应范围 | DC ~ 6GHz |
| 测磁灵敏度 | 优于1nT/Hz1/2 |
| 温度测量范围 | -40°℃~ +150℃ |
| 测温灵敏度 | 优于10mK/Hz1/2 |
| 工作电压 | 220VAC |
| 能耗 | 80W |
| 工作温度 | -40℃~ +85℃ |
| 尺寸 | 扫描仪450*450*620mm² 控制器412*420*117mm² |
| 净重 | 扫描仪25kg 控制器15kg |
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