金刚石量子显微镜
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金刚石量子显微镜（QDM）是一款高分辨率磁场显微镜，能通过检测半导体器件中缺陷导致的磁异常，实现故障的无损精准定位。其核心传感单元是浅表层富含高密度氮-空位（NV）色心的片状金刚石材料，能高灵敏捕捉样品表面的微弱磁场信号并转换成荧光信号；经相机收集与后端数据处理后，最终生成宽视场、高分辨的样品表面磁场分布图。
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指标参数：
| 磁灵敏度 | 2μT/Hz½ per pixel |
| 电流分辨率 | 20μA |
| 空间分辨率 | ≤1μm |
| 测磁范围 | 0.1-10mT |
| 成像视场 | 3mm*3mm |
| 频率响应范围 | DC, 2.0~3.4GHz |
| 整机 | 1100mm*860mm*1900 mm，~350kg |
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